华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆清洗装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202310369232.3，授权日为2025年5月23日。

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专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括：箱体、晶圆支撑机构、晶圆刷洗机构和供液组件，所述晶圆支撑机构包括用于承载晶圆并带动晶圆旋转的滚轮和安装座，安装座用于将滚轮与箱体固定，安装座和箱体之间设置有密封组件，密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧。

今年以来华海清科新获得专利授权38个，较去年同期增加了137.5%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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